最先進半導體製程中，極紫外光(EUV)技術前途日顯光明，投入相關領域的廠商漸增，日本半導體材料廠JSR也看好極紫外光技術，並指出現有半導體材料不能完全發揮極紫外光技術潛力，故決定投入新的相關材料研發，以利確保市場。據日刊工業新聞採訪JSR資深執行董事兼電子材料事業部長杉本健表示，他對極紫外光技術的普及有......
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